在多晶硅生產過程中,還原爐尾氣過濾器如何選型始終是一個難點,如過濾器及過濾面積選擇不當,將會導致過濾器堵死或硅粉過濾不徹底,影響下游工藝設備,從而嚴重影響系統的穩定運行。由于多晶硅行業尾氣粉塵具有顆粒細小、溫度高、硬度高、有耐磨性等特點,目前使用效果較好的是本體采用316L材料、濾芯采用316L金屬燒結氈制成的過濾器。此過濾器可設置成手動反吹或自動反吹。
♦ 硅粉輸送工序尾氣過濾。
♦ 三氯氫硅合成工序合成氣過濾。
♦ 三氯氫硅還原工序尾氣過濾。
♦ 四氯化硅氫化工序尾氣過濾。
♦ 焚燒尾氣過濾。
♦ 其它。
1、氣體精密過濾器 | 2、天燃氣精密過濾器 |
3、液體精密過濾器 | 4、袋式過濾器 |
5、多晶硅過濾器 | 6、保安過濾器 |
7、精密過濾器濾芯 |
工藝參數 |
氣 相:氫氣、氮氣或其它99.9%;固相:冶金硅粉0.1%(重量) 顆粒粒度:40~100目 |
設計性能 |
過濾效果:固體去除率99.9% 清灰設計:在線分區脈沖反吹(低壓系統) 離線分區脈沖反吹(高壓系統) |
工藝參數 |
氣 相:(wt%)H2(1.6%),HCl(3.3%),SiH2Cl2(3.5%) SiCl4(13.6%),SiHCl3(77.8%) 固 相:Si 粉(0.3%,max:1%) 工作溫度:~200℃;工作壓力:0.6Mpa 過濾精度:10µm |
設計性能 |
過濾效果:固體去除率99.9% 濾 芯:316L,10µm 清灰設計:有備用,離線反吹或在線分區反吹;反吹氣:氫氣 |
工藝參數 |
氣 相:(mol%)H2(78.96%),HCl(0.64%), SiH2Cl2(1.82%),SiCl4(7.16%),SiHCl3(11.4%) 固 相:無定型 Si 粉 工作溫度:~200 ℃;工作壓力:~0.6Mpa 過濾精度:1µm |
設計性能 |
過濾效果:固體去除率99.9% 濾 芯:316L,1µm 清灰設計:有備用,離線反吹或在線分區反吹;反吹氣:氫氣 |
殼體材質 | 20#、低溫鋼、不銹鋼、雙相鋼、鈦合金、內襯PO、內襯四氟、2205等各種特殊材質 |
過濾器壓力 | 0.6Mpa、1.0Mpa、1.6Mpa、2.0Mpa、3.2Mpa、4.0Mpa、6.4Mpa,最高至25.0Mpa |
溫度范圍 | -280℃~+2000℃ |
接管口徑 | DN15~DN1500mm |
連接方式 | 法蘭連接、快裝連接、螺紋連接、對焊連接 |
濾芯材質 | 不銹鋼、聚丙烯、PP棉、聚四氟乙燃、鈦合金、陶瓷等各種濾芯 |
過濾精度 | 0.001um~500um |
濾芯長度 | 250mm、500mm、750mm、1000mm或客戶指定長度 |
進出口方位 | 上進下出、上進側出、左進右出、下進上出等各種型式 |
過濾器可選配件 | 壓差計、變送器、安全閥、電動(氣動)排污閥、放空閥、液位計 |
墊片 | 聚四氟乙烯墊片、橡膠墊片、金屬內外環墊片、金屬石墨墊片或客戶指定 |
過濾器外面處理 | 采用內外拋光處理,達到衛生級標準,也可噴砂處理。 |
上海慶工建議客戶最好來電咨詢,我們的工程師會免費根據貴公司的工況及參數選擇最合理的過濾器 |
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訂貨時請標注如下參數:型號、口徑、材質、壓力、法蘭標準、過濾精度、數量,如客戶對產品有特殊要求,請在詢價時一并提出。